超高分辨冷场发射扫描电子显微镜

仪器名称:超高分辨冷场发射扫描电子显微镜

品牌:  日立

型号:SU9000II

产地:日本

仪器介绍:

一.仪器特点:

1. 内透镜物镜设计,像差小,可实现超高倍观察(SE分辨率:0.4nm@30kV),低电压成像能力优异(SE分辨率:1nm@1kV);

2. 全场的冷场发射电子枪,具有Mild Flash技术;

3. 采用样品杆进样,快速更换样品,高效稳定;

4. STEM和EDS性能优异,也可选配电子衍射和EELS。

二.主要用途:

兼具了扫描电镜和部分透射电镜的功能,主要应用在半导体、纳米材料、催化剂等领域。