超高分辨热场发射扫描电子显微镜
仪器名称：超高分辨热场发射扫描电子显微镜
品牌: 日立
型号：SU8700
产地：日本
仪器介绍：
一.仪器特点：
1. 电磁混合透镜，具有极高分辨能力：0.6nm@15kV;0.8nm@1kV；
2. 具有低至10V的超低加速电压表征能力;
3. 无漏磁物镜设计，具有多类成像探测器组合；
4. 具有自动对中功能的电子光学系统，可简单获取高质量图像；
5. 可选批量样品自动图像采集功能。
二.主要用途：
超高分辨、高度自动化的热场发射扫描电镜，用于纳米技术、半导体、电子器件、金属、生命科学、新材料等领域。
