多功能高分辨热场发射扫描电子显微镜
仪器名称:多功能高分辨热场发射扫描电子显微镜
品牌: 日立
型号:SU7000
产地:日本
仪器介绍:
一.仪器特点:
1. 电磁混合透镜,具有极高分辨能力:0.9nm@1kV;
2. 多探测器组合,可获取材料表面凹凸和高分辨率形貌、组分、结晶、荧光等众多信息;
3. 可在6mm分析工作距离同时进行各类探测器观察和EDS分析,效率极高;
4. 无漏磁物镜设计,具有大开仓设计,可拓展各类分析附件。
二.主要用途:
兼具了高分辨和分析能力的综合型场发射扫描电镜,可获取材料多种高分辨信息,用于纳米技术、半导体、电子器件、金属、生命科学、新材料等领域。