FIB-SEM 三束系统
仪器名称：FIB-SEM 三束系统
品牌: 日立
型号：NX系列（NX5000,2000,9000）
产地：日本
仪器介绍：
一.仪器特点：
1.配有Cut&See 功能，可实现边加工边观察；
2. 采用低加速（Ar/Xe）离子束（Triple Beam System）,实现低损失加工，去除稼离子束加工产生的污染;
3. 可通过高电流密度FIB实现高通量加工。
二.主要用途：
利用离子束加工样品截面，用于扫描电镜样品观察；或者加工薄片样品，用于透射电镜样品观察。
