仪器名称：白光干涉仪

品牌:  布鲁克

型号：ContourX-200

产地：美国

仪器介绍：

1. 采用白光干涉原理成像，具备白光和绿光LED双光源；

2. 台阶高度误差：≤0.75%；

3. 台阶高度测试重复性：≤0.1%；

4. 粗糙度测试RMS重复性：≤0.01nm；

5. 自动样品台：XY方向移动范围≥150mm×150mm；

6.用于观察和分析各种材料（金属、陶瓷、半导体等）表面的粗糙度，粒度，面型，平面度，特征尺寸等微观结构，通过分析材料的微观尺寸与宏观性质之间的关系，从而得到最优化的材料加工工艺和参数，在科学研究，产品开发，工艺控制，失效分析中有广泛的应用。